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201. 基于MEMS微镜的微型光谱仪设计

202. 高频MEMS阵列耦合谐振器相关性能研究

203. MEMS陀螺零偏在线自校准方法研究

204. MEMS-INS/GNSS组合导航系统研究

205. MEMS谐振式加速度计频率检测电路设计

206. 基于MEMS惯性器件的两轴稳定平台研究

207. 压电式MEMS面内横向驱动器的研究

208. 基于IMU旋转的MEMS器件误差调制技术研究

209. 可调谐MEMS谐振器关键技术研究及应用

210. MEMS在片测试系统电容参数校准技术研究

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