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201. 基于复合薄膜新型压电驱动RF MEMS开关

202. 基于MEMS工艺的微起爆器性能研究

203. 基于MEMS微镜的微型光谱仪设计

204. 高频MEMS阵列耦合谐振器相关性能研究

205. MEMS陀螺零偏在线自校准方法研究

206. MEMS-INS/GNSS组合导航系统研究

207. MEMS谐振式加速度计频率检测电路设计

208. 基于MEMS惯性器件的两轴稳定平台研究

209. 压电式MEMS面内横向驱动器的研究

210. 基于IMU旋转的MEMS器件误差调制技术研究

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