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241. 基于
MEMS
惯性传感器的井下人员定位系统
242.
MEMS
微桥结构设计与光刻工艺参数优化
243. 基于
MEMS
数字麦克风阵列的声源定位系统
244. 基于正交误差对准的
MEMS
陀螺测控电路设计
245. 基于
MEMS
技术的集成LED微阵列器件研究
246.
MEMS
温度传感器中ICP刻蚀技术研究
247. 盘结构电容式
MEMS
谐振器相关性能研究
248. 基于
MEMS
加速度传感器的步态识别
249. 低功耗
MEMS
热式风速风向传感器的研究
250.
MEMS
系统中微平板结构声振耦合性能研究
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