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241. 基于MEMS数字麦克风阵列的声源定位系统

242. 基于正交误差对准的MEMS陀螺测控电路设计

243. 基于MEMS技术的集成LED微阵列器件研究

244. MEMS温度传感器中ICP刻蚀技术研究

245. 盘结构电容式MEMS谐振器相关性能研究

246. 基于MEMS加速度传感器的步态识别

247. 低功耗MEMS热式风速风向传感器的研究

248. MEMS系统中微平板结构声振耦合性能研究

249. 基于MEMS陀螺仪随机漂移误差补偿的研究

250. 冲击环境下MEMS器件的弹性限位块设计（英文）

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