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411.
MEMS
扭转谐振器件弯—扭耦合挤压膜阻尼机理与模型
412. 基于二维
MEMS
超声相控阵的手势识别关键技术研究
413.
MEMS
矢量水听器的温度特性及其补偿方法研究
414.
MEMS
静电驱动器的场致电子发射效应研究
415. 一种基于
MEMS
芯片的新型地面大气电场传感器
416. 基于小波分析的
MEMS
加速度计输出噪声消除
417. 基于
MEMS
加速度传感器的位移检测系统
418. 基于DSP的
MEMS
陀螺误差建模与滤波方法研究
419. 基于
MEMS
器件的低成本姿态测量系统研究与实现
420. 复杂机载环境下的
MEMS
航姿系统性能优化技术研究
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