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451. MEMS加速度传感器信号处理电路设计

452. MEMS片上绝缘性能测试高阻标准件研制

453. 硅基共面波导RF MEMS开关设计关键技术研究

454. 基于MEMS惯性测量单元的多源信息自适应步数检测方法

455. 基于MEMS传感器的高精度行人导航算法研究

456. MEMS谐振式压力传感器谐振器设计与分析

457. 基于MEMS技术的植入式柔性多触点平面电极阵列

458. 一维MEMS矢量水听器的结构设计与工艺制备

459. 基于MEMS传感器的道面坡度提取技术研究

460. 基于MEMS技术低交叉干扰空间磁矢量传感器研究

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