磁控溅射法制备几种金属、金属氧化物薄膜及其性质研究

发布时间：2021-07-27 11:41

　　金属与金属氧化物在气敏、光催化与太阳能电池等方面有着极为重要的应用,通过磁控溅射法制备的金属氧化物薄膜,具有纯度高、致密性好、可控性强、与基底附着性好等优点,因此磁控溅射技术被广泛应用于工业化生产制备大面积、高质量的薄膜。我们通过磁控溅射法制备了氧化铜纳米线阵列薄膜,并研究了其气敏性质;除此之外,我们还通过磁控溅射法制备了TiO₂/WO₃复合薄膜,研究了两者之间的电荷传输性质:基于磁控溅射法,我们主要开展了以下三个方面的工作:（1）采用磁控溅射法在掺氟二氧化锡导电玻璃（FTO）衬底上溅射金属铜薄膜,所制备的Cu薄膜通过在管式炉中退火氧化生长,可得到CuO纳米线阵列薄膜。用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、高分辨透射电子显微镜（HRTEM）对其形貌和结构进行了表征,并研究了这种通过磁控溅射法得到的CuO纳米线阵列薄膜对CO和H₂S的气敏性质,研究结果表明:CuO纳米线阵列薄膜在250℃时对CO气体具有最强的气敏响应,并且当CO浓度增大时其气敏响应明显增强;而对于H₂S气体,在常温下Cu... 

【文章来源】：河南大学河南省

【文章页数】：64 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

一步水热合成法制备的TiO2/WO3复合材料

此种薄膜在红外与近红外区域提高了光电响应，有望在染料敏化太阳能电池中得到应用。图1-3为Hiroshi等人[39]采用磁控溅射法与溶胶-凝胶法制备的双层复合薄膜，此种薄膜在紫外光照下具有很好的亲水性，且磁控溅射法制备的薄膜亲水性质要优于溶胶-凝胶法制备薄膜。三氧化钨薄膜广泛应用于电致变色、光致变色，气致变色、热致变色等多种领域，当前，对电致变色、光致变色性能的研究比较多并取得了显著的成果，如：智能窗，可图 1-3 磁控溅射法（a）与溶胶-凝胶法 (b) 制备的 TiO2/WO3双层复合结构图 1-2 溶胶凝胶法制备的三维 WO3/TiO2复合薄膜

Lu等人[38]采用溶胶-凝胶法制备的三维多孔WO3/TiO2复合薄膜外区域提高了光电响应，有望在染料敏化太阳能电池中得到应Hiroshi等人[39]采用磁控溅射法与溶胶-凝胶法制备的双层复合薄 1-3 磁控溅射法（a）与溶胶-凝胶法 (b) 制备的 TiO2/WO3双层复合结图 1-2 溶胶凝胶法制备的三维 WO3/TiO2复合薄膜

【参考文献】：
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本文编号：3305714