复合量程硅压阻式海洋快速深度剖面测量关键技术的研究

发布时间：2021-06-09 19:19

　　海水的温度、盐度、深度（简称为温盐深）是海洋环境信息中最基本、最重要的三个物理量。抛弃式温盐深仪（Expendable Temperature,Conductivity and depth,XCTD）和水下滑翔机、自主式水下潜航器（Autonomous Underwater Vehicle,AUV）等水下快速移动观测平台由于能够十分灵活、低成本、快速实时、宽空间范围地测量海洋温盐深参数,已成为海洋领域的研究重点和前沿研究方向。目前,XCTD的深度测量是依据探头在水中的下沉速率和探头入水时间计算得到的,其测量精度一般为±5米或满量程的2%,尚未配备更高精度的深度（压力）传感器,大大限制了XCTD的应用范围。而装配于水下滑翔机、AUV等水下快速移动观测平台的压力传感器,由于需要满足多种海洋应用中的最大测量深度,导致垂直空间分辨率较低,需要能兼顾大量程和高垂直分辨率的阵列式压力传感元件。针对XCTD和水下快速移动观测平台的深度测量需求,本文基于硅材料的压阻效应,创新性地提出了复合量程硅压阻式压力传感技术,并进行了理论研究和模拟仿真。采用分布式压力传感元件布放方式,结合流速仪,提出了水下快速移... 

【文章来源】：山东大学山东省 211工程院校 985工程院校 教育部直属院校

【文章页数】：86 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图１－３钛金属应变计的原理图和电桥结构［２１］??

图１－４双膜片压阻式压力传感器Ｉ２３】??（４）基于光学原理的光纤压力测量技术??

图１－７?ＣＴＤ生物标签??１．２．３水下压力测置技术小结??

【参考文献】：
期刊论文
[1]我国海洋资源开发规划研究[J]. 王芳.  国土资源. 2010(11)
[2]基于压力传感器的迎角测量方法的研究[J]. 孟丹丹,韩焱,王鉴.  传感器与微系统. 2008(04)
[3]海水电导率、温度和深度测量技术探讨[J]. 张兆英.  仪器仪表学报. 2003(S2)
[4]CTD测量技术的现状与发展[J]. 张兆英.  海洋技术. 2003(04)
[5]硼离子注入退火过程对表面迁移率及薄层电阻的影响[J]. 汤庭鳌,卡洛斯·艾劳休,李倩.  固体电子学研究与进展. 1988(01)

博士论文
[1]潜标平台运动及数据反演研究[D]. 陈经刚.中国海洋大学 2015

硕士论文
[1]压阻式压力传感器性能优化和结构设计[D]. 安跃.东南大学 2017
[2]XCTD数据传输信道的特性研究[D]. 张如彬.天津大学 2017
[3]压力传感器结构设计和优化分析[D]. 包宏权.东南大学 2016
[4]船用投弃式温盐深测量系统[D]. 岳西凤.河北工业大学 2010
[5]XCTD温度和电导率传感器技术研究[D]. 武玉华.国家海洋技术中心 2007



本文编号：3221163