电镀均匀的先进装置研发项目质量管理研究

第1章绪论

1.1研究背景

在当前的市场经济环境下，消费者的需求越来越个性化，多样化。随着高新技术的不断出现，产品在市场上的生命周期越来越向短的趋势发展，产品的研发已成为所有企业竞争的主战场。为了能在竞争中取胜，各厂家都在不断加大研发上的投资。加大技术研发力度、提高中国企业的核心竞争力己成为所有人的共识，各个厂商都希望在最短的时间生产周期开发出更领先的技术、优良的品质、可靠的产品以满足消费者多样化的审美需求。但往往在产品研发过程中经常因管理不够到位、对细节控制不严而造成不必要的资源浪费，延长了开发周期，抑或是产品质量达不到预期的目标，进而导致产品不能满足市场需要，甚至由于产品隐含的严重质量缺陷给企业带来致命的伤害。

产品研发的项目管理在西方发达国家已经形成一套较为成熟和科学的管理体系，然后再配套相关的管理流程和软件支持，可以使企业资源实现最大化，进而能够确保厂商开发出更具竞争力、经久不衰的产品。而在国内，一些具有外资背景的企业由于更加重视研发项目的管理，基本也能够跟上节奏，各自采用不同的研发项目管理手段，使技术和产品的研发更加有效和受控，进而在其中广为受益。

半导体产业在中国起步的比较晚，一般都落后发达国家十几年以上，而现在我们从国外进口的最大金额的产品就是集成电路，其总量甚至已经超过石油。所发展我们的半导体产业刻不容缓。在＂十一五＂期间国家科技部就设立了＂极大规模集成电路制造装各及成套工艺＂的02科技重大专项，用以鼓励和加速半导体集成电路产业的发展。而在半导体产业里，半导体装备制造业是非常重要的一环，也是我们最受制于人的一环，几乎全部需要进口，高昂的价格往往使我们国内半导体企业望而却步。所加大投入力度，极力发展具有自主知识产权的半导体装备业已经得到业界的共识。

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1.2论文架构

本文结合A公司的实际管理情况，以产品质量关键点控制为理论基础，通过研究A公司在质量管理体系中流程的设计和优化及关键点控制的分析，从而提出优化的方向，最终实施成功并取得了良好的效果，从而为公司研发产品质量和全过程控制打下了的基础，为公司长久发展和进一步稳定市场地位起到了非常重要的作用。

本文共五个章节，分别如下；

第一章：绪论。主要介绍论文研究的背景、论文架构及研究问题。

第二章：相关理论及文献综述。主要介绍了项目、项目管理、项目质量管理等几个项目管理的相关概念。接下来介绍了研发项目质量管理研究的内容与方法以及FEMA、SPC等常用的质量管理工具的相关理论及其国内外研究情况。

第三章：公司与项目现状。本章节主要对公司简件以及研发项目的管理现状进行分析和阐述。借助质量功能分析和质量屋等工具进行分析，结合工作实践找出提高电镀镀层均匀性的关键参数指标，为后期的实验验证打好基础。

第四章：采用正交实验设计确定了实验的方案，，确定了一种高效率实验设计方法，顺利得到了想要的结果。通过对电流密度、电压、阴阳极距离等3个关键参数的SPC过程监控和分析，最终实现了电被银层CPK值＞1.67的项目考核目标，达到半导体产业高端的要求。

第五章：成果与展望。通过前面四个章节的理论研究和实践分析，得出本论文的结论及成果，并对论文未来的研究进行了思考和展望。

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第2章相关理论及文献综述

2.1项目的概念

简单的讲，项目是完成某一特殊产品、服务所做的一次性的努力。它区别于其他日常的工作任务，它不是一个持续不断或者重复的工作。它有三大特征，即一次性的、独特的及整体性。所谓一次性，是指一个项目必须有非常明确的起始时间，在这个阶段内专门挑选一些人来完成某一个特殊的工作任务，所以它的目标应该是明确的，而且规定了其可以使用的资源及项目所属的工作内容和范围。所谓独特性，是指项目所研发的产品或者服务应该与以往的产品或者服务有所不同，它一般有别于其他以往的一些工作项目或者工作内容，可借鉴的经验和教训都比较少。所谓整体性，是指每个项目都必须统一的管理，作为一个整体来对侍，一旦相关环境发生变化，需要提高项目的管理目标，则与之相应的人员、资源配备也必须随之发生变化。

任何一个项目都必须同时具备以上三个特征。所以，日常的、重复的一些工作内容或工作任务都不能称之为项目。当然，项目可大可小，它可以是研发一个航天飞机或者高速列车，也可以是一个非常小的研发课题亦或是做一个特定的优化和改进，甚至是召开一个小型会议或是参加一次行业展会等非常小的项目。但是，无论如何，所有项目都必须是一次性的、特殊的，也都必须在某一特定的时间段内完成，并根据项目大小配备相关的人员或资源。

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2.2项目管理的概念

项目管理的历史并不畅，首次将项目管理的方法应用于实践的是美国杜邦公司。其在1957年将项目管理方法应用到公司内部的设备维修过程，大幅缩短了维修所导致的停工时间，开启了项目管理理论应用与实践的先例。后面在1965年，成立了第一个专业性项目管理组织IPMA，至今还不到五十年的时间。经过这近五十年的努力，对项目管理的重要性及其基本概念，当前的国际专业已经形成了一个初步的共识，随着项目管理的不断应用，在化界范围内相继成立了多个研究机构或者学会对项目管理进行深入的研究，项目管理理论也越来越受到广泛的重视，项目管理之花己开遍全世界。

美国的项目管理学会其对项目管理有定义是：项目管理是指在项目开展的活动中使用相关知识、技能及技术使项目的最终实施结果达到预定的要求。所以项目管理是通过在一个明确的时间段耍求内，为了完成一个指定的持殊任务或目标，临时通过特殊的组织管理模式，并经过项目管理团队在这个时间段内通过有效的计划、组织、领导、控制，同时通过有效利用项目资源，有效利用团队力量，从而在最有限的资源内用最短的时间完成工作目标或任务的一种非常系统、先进的管理方法。

项目管理按照管理内容来讲分为项目范围管理、项目时间管理、项目成本管理及项目质量和风险管理等多个部分。但对于半导体装各类研发项目来说，由于其特殊性，其最为主要的是项目质量管理这部分管理内容。

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第3章公司与项目现状..........24

3.1公司及项目简介.............24

3.2研发项目管理现状.............25

第4章项目质量问题分析..........38

4.1正交实验设计.............38

4.1.1正交实验设计的基本概念...............38

第5章成果与展望.............55

5.1研究成果..............55

5.2不足与展望.............55

第4章项目质量问题分析

4.1正交实验设计

4.1.1其他质量问题的解决

本项目除了电锻均匀性一个重要质量问题点（相对重要度61%）外，其他如运行稳定性（相对重要度14%）以及能耗（相对重要度10%）和占比相对比较大一些，除此以外的如产能、设备美观、高度符合人体王学等指标占比就非常小了，两者的相对重要度加起来仅为15%。故本文对设备运行稳定性以及能耗指标进行针对性的分析和管控，而对于其他产能、设备美观等指标属于设备常规指称，则通过内部设汁和评审及加强内部控制管理等手段加以实现。

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第5章成果与展望

5.1研究成果

通过以上关于项目质量管理的几个关键方面的研究和分析，半导体装备研发项目非常有必要全面实施项目质量管理，半导体设备产品从开发到生产必须有一套完整的质量策划和控制计划，制定各阶段作业方式与质量活动，以确保产品在开发原型祥品、试生产及量产等阶段的管理活动有效运作。项目管理作为一种管理方法应用于半导体设备开发有助于企业缩短设各开发周期，降低设备开发成本，提高企业产品竞争力，使企业能够得到快速的发展，从而能够为社会不断的创造价值，这对整个行业的发展都会有积极的推进和促进作用。

通过项目的跟踪，得到以下成果：

1）经过对项目的质量问题点进行质量功能展开分析和评价，借助质量屋等质量管理工具分析，最终结果发现提高电锻彼层的均匀性相对占比超过60%，由此确定提高锻层均匀性为项目质量关键点。

2）通过理论分析结合实践经验，找出了影响电縷均匀性的三个关键參数指标，为后续验证和优化提供了条件。并采用正交实验设计确定了实验的方案，确定了一种髙效率实验设计方法，最终确认了关键参数指标的最佳值范围。

3）通过对电流密度、电压、阴阳极距离等关键参数的SPC监控，最终实现锻层CPK值达到1.83，达到了CPK＞1.67的项目考核目标，满足半导体产业高端产品的要求。

4）采用重点监控与一般监管相结合的管理方案，针对项目质量关键点进行重点分析和解决，针对其他一般问题点则通过加强内部研发、采购、制造和品检等常规管理手段进行有效解决，从而实现对项目质量问题点的全覆盖。

参考文献（略）