钛表面磁控溅射氮硅锆涂层对钛瓷结合的影响及G-I钛遮色瓷的研制

发布时间：2020-07-03 08:36

【摘要】：与目前所采用的烤瓷贵金属合金和镍铬合金相比，生物相容性优异，价格低廉，在生物人体替代材料方面已得到广泛应用的钛金属，在金属烤瓷修复中的应用受到了越来越多的关注。近年来，钛烤瓷技术有了较大发展，但由于钛／瓷结合强度较镍铬合金／瓷结合强度仍有差距，缺乏钛烤瓷临床应用效果的长期验证，钛烤瓷的临床应用仍有很大局限。本研究以目前钛表面处理最有前景的“中间层”策略，应用磁控溅射技术在钛表面制备氮硅锆(ZrSiN)涂层以控制钛在瓷烧结温度过度氧化，改善钛瓷结合；并研制与本课题组GGW钛粘结瓷匹配的G-1钛遮色瓷，以形成较完整的自主研制钛瓷体系，为钛瓷修复技术的临床广泛开展奠定基础。本研究应用JGP560V磁控溅射设备用射频反应沉积ZrSiN扩散阻挡层。观察采用不同处理参数制备的涂层对钛瓷结合强度的影响，以及钛表面该涂层的表面形貌及膜层结构。
【学位授予单位】：第四军医大学
【学位级别】：博士
【学位授予年份】：2006
【分类号】：R783.1
【图文】：

示意图,三点弯曲,测试装置,试件

金瓷间的三点弯曲结合强度k(值是与金属材料弹性模量、试件形状大小有关的常数，可在1509693标准中查出)，采用SPSS11.0统计软件进行统计学处理。测试装置见图1。.26取三点弯曲测试后的试件，将瓷完全从钦表面剥离，肉眼及电镜观察钦/瓷分离面并进行EDX分析。图1一1一2钦瓷结合三点弯曲测试装置图1一1一3三点弯曲测试试件示意图表l一l一1DueeratinPoreelains烧结程序粘粘粘结瓷瓷遮色瓷瓷牙本质瓷瓷预预热温度o(C)))600004500045000干干燥预热时间(min)))444666999升升温速度(oCm/in)))555555555555烧烧结温度o()))c780007800076000烧烧结时间(min)))lllllllll真真空时间(min)))lllIIIlll真真空度(Ph)))a5000500050003结果3.1能谱分析表明，各实验组靶材中的硅片数分别为1，2，3，4时，制备的对应涂层的硅含量分别为1.9%，5.2%

SEM图,循环热处理,表面形貌,涂层

第四军医大学博士学位论文图1一1一5为不同硅含量zrsNi涂层X射线光电子能谱江PS)图。结果表明ZrsiN涂层中的Zr以ZNr形式存在，si以Si3N4或者Si一N化合物形式存在，si含量较高时Zrd3峰值较低，表明si含量较高时ZNr晶相较少。根据文献，Ti一Si一N薄膜中的Si以Si3N4非晶形式存在，TIN纳米晶体形式存在并分布于非晶si3N4基体中l’22，’23]。结合有关对zrsiN涂层的研究可以推断[l’5，’2’l

【引证文献】