智能节能窗用二氧化钒薄膜磁控溅射技术研究

发布时间：2022-10-19 11:18

　　二氧化钒是一种在68℃附近具有金属-绝缘体可逆相变的新颖材料,相变前后对红外光分别呈现出高透与高反的特性,是智能节能窗的理想材料。文章针对应用于智能节能窗二氧化钒薄膜磁控溅射中存在的主要问题,综述了近年来该领域发展的一些新技术,特别是本研究组在基底上加偏置电压降低沉积温度、离子后处理提高可见光透射率、超薄层掺杂降低相变温度等方面的工作进展。 

【文章页数】：8 页

【文章目录】：
0 引言
1 VO2薄膜制备方法及在智能窗应用中存在的问题
2 降低沉积温度研究方面
    2.1 负偏压生长技术
    2.2 缓冲层诱导生长技术
    2.3 高功率脉冲磁控溅射技术
3 提高可见光透射率研究方面
4 降低相变温度研究方面
5 总结


【参考文献】：
期刊论文
[1]二氧化钒智能节能窗:从镀膜玻璃到节能发电一体化窗[J]. 陈长,曹传祥,罗宏杰,高彦峰.  科学通报. 2016(15)



本文编号：3693269