微压电复合材料超声波探测器的制备及应用

发布时间：2017-06-26 00:11

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【摘要】：基于微细加工工艺,设计并制备了一种指向性良好的压电复合材料的超声波探测器。该探测器由压电振子、阻尼器、中继板和特高频(UHF)连接器构成。压电振子由4×4个(80μm×80μm×130μm)(长×宽×高)的锆钛酸铅(PZT)压电柱状阵列及阵列缝隙填充环氧树脂而构成。当压电振子施加高频交流电压时,柱状PZT阵列产生纵向伸缩运动,从而产生超声波并向介质辐射。作为填充材料的环氧树脂,能够吸收掉因柱状PZT阵列其他方向振动而引起的噪声,使探测器在纵向上能产生指向性良好的超声波,从而提高了该探测器的灵敏度。测试结果表明,该微压电探测器指向性好,灵敏度高,精度高和抗干扰性好,可应用在泥沙的含水量测量中。
【作者单位】： 上海应用技术学院理学院;上海应用技术学院轨道交通学院;日本立命馆大学微系统系;
【关键词】： 超声波探测器 压电复合材料 微细加工工艺 超声波指向性
【基金】：国家自然科学基金课题项目(60777016) 国家自然基金课题项目(51405303) 上海联盟计划项目(LM201441) 上海应用技术学院重点学科项目(10210Q150005) 上海应用技术学院人才引进基金项目(YJ2014-03)
【分类号】：TB553;TB33
【正文快照】： 超声波因其频率下限大于人的听觉上限而得名,是一种频率高于20000赫兹的声波。它方向性好,穿透能力强,易于获得较集中的声能,在水中传播距离远,可用于测距、测速、清洗、焊接、碎石、杀菌消毒等,在医学、军事、工业、农业等领域上有很多的应用[1-6]。近年来,随着超声传感技术

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

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本文编号：484063