可刚性固定MEMS矢量水听器的设计
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【摘要】:针对传统矢量水听器在实际应用中需要辅助弹性悬挂,不便于工程应用的问题,设计并制造了一种具有低加速度灵敏度可刚性固定的差分型MEMS矢量水听器。介绍了该水听器的工作原理,制作了试验样机。搭建实验平台对样机进行测试,结果表明:500 Hz时声压灵敏度为-185 dB(0dB参考值1 V/μPa),频带内指向性凹点深度大于30 dB,加速度灵敏度相对于普通型矢量水听器下降20 dB(0dB参考值1 V/g)。理论与实验证明该差分型MEMS矢量水听器可以实现刚性固定的目的,具有广泛的工程应用前景。
【作者单位】: 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【关键词】: 微电子机械系统(MEMS) 矢量水听器 差分结构 刚性固定型 加速度灵敏度
【基金】:国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA09A414) 国家自然科学基金资助项目(61127008;51205374) 山西省青年科技研究基金资助项目(2012021013-3)
【分类号】:TB565.1
【正文快照】: 0引言矢量水听器在水下声学接收系统中占有重要地位[1],目前主要包括压差式和同振式两种,前者由于指向精度不高,因此其在水声领域的应用并不广泛[2]。同振式矢量水听器主要通过测量加速度的方式对水声信号进行测试[3],实际应用中对工作平台的振动十分敏感,因此在使用中需要弹
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,本文编号:507068
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