微型热式流量传感器专利技术综述

发布时间：2024-05-20 04:37

　　流量测量广泛应用于各个领域,其中基于微型化、无干扰、集成化的流量测量需求以及技术的进步,微型热式流量传感器开始了长足发展。本文利用专利数据库,分析了微型热式流量传感器的专利申请态势,包括全球申请量年度分布、各国专利布局、技术原创、主要技术分支、重要专利和技术发展路线等,从专利的视角分析了该领域的技术发展历程和发展趋势,有助于微型热式流量传感器领域的技术应用和技术改进。

【文章页数】：4 页

【部分图文】：

图1申请量年度分布图

图3为专利申请原创国和地区/目标国和地区，由图中可以看出，在原创国和地区中，日本专利申请量居于首位，美国技术产出比重仅次于日本，居于第二位，其次是德国和中国，分别位居第三位和第四位。以上排名基本体现了目前国际上微型热式流量传感器在各个国家的技术能力。根据专利申请的公开号进行分析，....

图3原创国和地区/目标国和地区

进入20世纪90年代后，由于微加工工艺和微电子工艺的成熟，这一时期的专利申请较多，涉及不同结构和多种材料的改进，例如微型热线风速计、微型热膜探头、微型热分布式流量传感器等。在传感器件的材料上也有了更多选择，除了金属薄膜电阻外，还可以采用多晶硅掺杂形成加热元件；而对于热敏感元件，可....

图4技术演进路线

图3原创国和地区/目标国和地区此后一段时期，由于微加工工艺和微电子工艺趋于成熟，这一时期的专利申请量有所回落，且对于微型热式流量传感器的研究逐渐倾向于信号处理和温度补偿方面，主要涉及测量电路的优化、流量信号的补偿和校正以及多维度测量。未来微型热式流量传感器将朝向微型化、智能化、....

图2申请量区域分布

为了比较各国在微型热式流量传感器技术领域的研发能力与水平，对专利申请所在国家和地区产权组织分布进行统计，如图2所示，可以看出，日本、美国、德国和中国申请量较高，共同占据了所有专利申请的86%，其中日本占37%，美国占21%，德国占16%，中国占12%。这主要是因为日本、美国、德国....

本文编号：3978970