以产能为导向的半导体设备管理系统应用研究

发布时间：2017-05-11 04:06

  本文关键词：以产能为导向的半导体设备管理系统应用研究，，由笔耕文化传播整理发布。

【摘要】：半导体制造业技术水平的高低及产业规模的大小已成为衡量一个国家科学技术、经济发展和国防实力的重要标志,在我国国民经济中有着特殊的地位和意义。半导体设备管理的效果直接影响公司生产系统的产能及产品品质,目前,由于半导体设备管理系统尚不完善,对设备的综合利用率尚未有效全面挖掘,一定程度上影响了公司的产能和质量。因此,建立一套良好有效的设备管理系统,对半导体公司在日益激烈的市场竞争中具有关键作用。本文旨在通过对S半导体公司设备管理系统的实际应用,阐述作者的研发成果,并希望在半导体行业得到推广。 本文首先运用SWOT方法分析S公司在半导体行业竞争力的优劣势,在国内外研究理论的基础上,提出目前本公司的发展瓶颈在于如何提高设备的综合利用率。作者将目前世界上先进的MES系统运用至S公司设备管理中,并结合半导体设备自动化程度高且具有高端技术的特性,对MES系统进行二次开发,对系统中的各个模块综合分析评估,并经过合理有效整合,提高半导体设备的综合利用率。S公司实际运用证明,经整合后的MES设备管理系统能为本公司降低成本、提升产能。
【关键词】：半导体设备 设备管理系统 制造执行系统(MES) 产能
【学位授予单位】：华东理工大学
【学位级别】：硕士
【学位授予年份】：2012
【分类号】：F426.6;F273.4;C931.6
【目录】：

• 摘要5-6
• Abstract6-9
• 第1章 绪论9-12
• 1.1 研究背景和目的9-10
• 1.2 国内外现状10-11
• 1.3 研究内容和论文结构11-12
• 第2章 半导体晶圆制造业产业分析12-18
• 2.1 半导体制造业的商业模式12-13
• 2.2 晶圆制造流程简介13-14
• 2.3 SWOT方法分析S公司的企业竞争力14-18
• 第3章 半导体设备管理18-23
• 3.1 设备管理的发展18-20
• 3.2 半导体设备的特征20
• 3.3 半导体设备管理的发展趋势20-23
• 3.3.1 现状20-21
• 3.3.2 问题21
• 3.3.3 趋势21-23
• 第4章 半导体MES的应用23-31
• 4.1 MES概述23-24
• 4.1.1 MES定义23
• 4.1.2 MES国内外的发展23-24
• 4.2 MES框架模型分析24-26
• 4.2.1 MES定位模型分析24-25
• 4.2.2 MES通用功能模型25-26
• 4.3 S半导体公司MES的应用26-30
• 4.3.1 S半导体公司MES功能模型分析26-29
• 4.3.2 S半导体公司MES应用情况29-30
• 4.4 MES系统对于半导体设备管理的重要意义30-31
• 第5章 S公司MES设备管理系统模块的建设和应用31-52
• 5.1 S公司MES设备管理系统建立的依据31-32
• 5.2 S公司MES设备管理系统建立的过程32-36
• 5.2.1 设备管理系统方案的可行性分析32-33
• 5.2.2 项目小组的建立和实施的计划33-35
• 5.2.3 S公司设备管理系统的架构的初步确定35-36
• 5.3 S公司MES设备管理系统的功能模块研究及其应用36-51
• 5.3.1 设备工程数据采集和统计过程控制模块研究和应用(EDC/SPC)37-39
• 5.3.2 设备错误侦测与判断系统模块应用(FDC)39-42
• 5.3.3 设备状态切换模块和设备状况监控模块研究42-45
• 5.3.4 SOP模块应用45-46
• 5.3.5 知识管理模块应用KM(Knowledge Management)46-48
• 5.3.6 设备维修排程模块PMS应用48-49
• 5.3.7 设备故障预测模块应用49-50
• 5.3.8 设备资产成本模块应用50-51
• 5.4 S公司MES设备管理系统的进一步设想51-52
• 第6章 S公司MES设备管理系统整合应用实现产能提升52-65
• 6.1 S公司MES设备管理系统运行存在问题52-53
• 6.2 S公司MES设备管理系统改善方案和试运行53-60
• 6.2.1 设备效率和质量改善54-58
• 6.2.2 设备故障和宕机响应58
• 6.2.3 提高设备人员技能58-59
• 6.2.4 系统模块的综合运用59-60
• 6.3 S公司设备管理系统综合效益分析60-65
• 6.3.1 设备Uptime显著提升61-62
• 6.3.2 良率的提高62-63
• 6.3.3 设备运营和维护成本降低63-65
• 总结与展望65-66
• 参考文献66-68
• 附录68-70
• 致谢70-71
• 卷内备考表71

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 王敏;;显性知识与隐性知识关系探讨[J];安徽工业大学学报(社会科学版);2008年04期

2 梁德丰,钱省三,梁静;SPC在半导体晶圆制造厂的应用(上)[J];半导体技术;2004年03期

3 徐滨士;设备管理的历史和发展[J];工程机械与维修;2002年01期

4 赵涛,毛华,刘曙;设备管理理论体系与发展趋势[J];工业工程;2001年02期

5 饶运清;MES——面向制造车间的实时信息系统[J];信息技术;2002年02期

6 方华林;设备管理工作如何适应新形势[J];航天工业管理;1995年02期

7 ;未来工厂——CIMS[J];可编程控制器与工厂自动化;2006年10期

8 周城雄;隐性知识与显性知识的概念辨析[J];情报理论与实践;2004年02期

9 张强,胡松,姚汉民,刘业异;ASML公司光学光刻技术最新进展[J];微细加工技术;2002年03期

10 邱海棠;;浅谈设备管理成本的综合控制[J];现代商贸工业;2007年08期

中国硕士学位论文全文数据库 前2条

1 李维佳;FMEA应用于设备维护的研究[D];西南交通大学;2006年

2 王俊涛;基于柔性工作流的设备管理系统分析与设计[D];成都理工大学;2008年

  本文关键词：以产能为导向的半导体设备管理系统应用研究，由笔耕文化传播整理发布。

本文编号：356200