面向特征建模方式的微器件表面微加工掩膜推导方法

发布时间：2017-08-26 02:35

  本文关键词：面向特征建模方式的微器件表面微加工掩膜推导方法

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【摘要】：针对微机电系统传统设计方法中,微器件的结构设计过程不够直观,三维模型的更改需要根据掩膜的更改来推导完成。提出了一种算法以实现由微器件三维特征模型自动推导出掩膜版图。在完成对微器件三维特征模型工艺分层之后,每一工艺层分别包含各自的特征结构,再根据各个工艺层的结构信息和材料信息,利用提出的掩膜推导算法,在沿微器件加工方向的正方向完成掩膜的逐层推导。并在VC环境下基于Open CASCADE三维内核开发相关应用程序,来完成对掩膜推导算法的验证。通过实例验证表明,此算法具有可行性,可以实现掩膜的自动生成,较传统设计方法更加直观、高效。
【作者单位】： 西安工业大学机电工程学院;
【关键词】： 表面微加工 MEMS 掩膜推导 元素推理
【基金】：陕西省自然科学基础研究计划资助项目(2013JM7029)
【分类号】：TH-39
【正文快照】： 随着微机电系统(MEMS)技术的不断发展,微器件的结构变得越来越复杂。然而,微器件的设计方法及流程依然是先设计二维掩膜版图,再根据其工艺方法推导出三维实体模型,而不是直接设计三维结构。这就使得微器件设计人员需要把大量的时间花费在加工工艺上,因而延长了开发周期。因此

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本文编号：739181