归零工作对提升产品可靠性的效用研究

发布时间：2021-11-28 05:12

　　随着我国航天型号产品使用严酷度的逐步升级,对产品的质量等级和使用寿命的要求也越来越高。为了提升产品固有可靠性,满足航天产品的高可靠要求,文章阐述了质量归零工作的要求和具体内容,并以两个在可靠性试验和用户使用中出现的偶然失效问题为例,通过归零研究,找到了影响器件长期可靠性的问题根源及解决措施。这为提升产品的设计和工艺技术平台能力,持续改进产品的质量,促进产品固有可靠性的提升起到了积极作用。 

【文章来源】：微电子学. 2020,50(03)北大核心

【文章页数】：5 页

【部分图文】：

失效部位(显微图片)

图1 失效部位(显微图片)该产品之前有22只进行了寿命试验,全部合格。本次再次投入23只做寿命试验,有1只失效。经举一反三彻查,该产品铝条裕量设计满足要求。同工艺套路的产品自建线以来已累积销售约200万只,且已有846批单片电路进行过周期检验(即进行了寿命试验),均未出现类似失效。因此,可以确定本次电迁移失效属于偶然加工缺陷导致,其失效机率非常低,约为5×10-7。

从销售使用情况、历年来的考核数据以及FIB的进一步分析,均证明了本次失效属于偶然失效。通过FIB和SEM分析,可以看到本电路存在薄弱环节:电路通孔台阶角度均为90 °左右,通孔侧壁有轻微向内凹陷,通孔形貌陡直,在铝覆盖通孔侧壁和顶部时,由于沉积入射角过小,这两处铝厚度控制非常困难,因此不可避免存在均匀性控制难题。图4 寿命样品FIB图片(覆盖最差)

【参考文献】：
期刊论文
[1]片式多层陶瓷电容失效模式研究[J]. 刘锐,陈亚兰,唐万军,姚世锋.  微电子学. 2013(03)
[2]双层铝互连倒梯形通孔刻蚀技术研究[J]. 唐昭焕,王大平,梁涛,李荣强,王斌,任芳,崔伟,谭开洲.  微电子学. 2012(02)



本文编号：3523775