大尺寸超薄不锈钢柔性衬底超精密加工表面/亚表面损伤检测及工艺研究

发布时间：2021-12-29 06:40

　　不锈钢因其低热膨胀系数、水氧隔离性能优越或成为柔性显示器的主要衬底材料。这就要求其表面实现全局平坦化,通常采用研磨抛光的方法,但是加工往往产生损伤,对后续加工的去除量及不锈钢衬底的使用性能均存在较大影响。本文主要对304不锈钢研磨抛光工序加工效率和表面/亚表面的损伤进行研究,具体研究如下:（1）304不锈钢加工表面/亚表面损伤的检测方案利用金相显微镜、三维表面轮廓仪和扫描电镜观测304不锈钢加工表面/亚表面损伤层厚度,通过sin2φ法测定304不锈钢亚表面残余应力,并确定表面/亚表面损伤检测策略:加工面形貌检测、加工面抛光与残余应力检测、镶嵌制样、截面研磨抛光、腐蚀、观察和检测。（2）游离磨料研磨304不锈钢表面/亚表面损伤的检测高效率和低损伤两者很难保全;高压、高转速、大粒径磨粒、短时间工况下研磨工件材料去除率高,达到1μm/min以上;低压、低转速、大粒径磨粒、长时间工况下表面粗糙度较低,低于0.336μm,表面损伤层厚度较小,小于4.677μm;高转速、小粒径磨粒工况下,亚表面残余应力较低,低于-171.49±9.01MPa;低压、低转速、长时间工况下,亚损伤层厚度较小,小于8μ... 

【文章来源】：河南科技学院河南省

【文章页数】：93 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

柔性显示在生活中的应用查阅大量文献发现，有机电致发光显示器根据驱动方式的不同划分成主动驱动式

柔性OLED器件组成示意图

厚度 ++ - +柔韧性 ++ - +抗冲击性 ++ - +成本 ++ + ++绝缘性 ++ ++ -透明度 ++ ++ -面平坦性 +/++ ++ -尺寸稳定性 - ++ ++化转变温度 + ++ ++水阻氧特性 - ++ ++++表示特优，+表示良，-表示差。传统玻璃本身材质较硬，如果作为柔性基板应用就需要对其减薄。当玻璃 0.1mm 时，就达到一定的弯曲性能，可以称为柔性玻璃(图 1-3)。

【参考文献】：
期刊论文
[1]柔性显示:重新定义电子产品[J]. 周路菡.  新经济导刊. 2017(08)
[2]柔性显示基板材料研究进展[J]. 兰中旭,韦嘉,俞燕蕾.  华南师范大学学报(自然科学版). 2017(01)
[3]柔性显示器件用聚酰亚胺基板的研究与应用进展[J]. 刘金刚,倪洪江,郭远征,宋勇志,杨士勇.  精细与专用化学品. 2014(09)
[4]材料特性对亲水性固结磨料研磨垫加工性能的影响[J]. 朱永伟,付杰,居志兰,唐晓骁,李军.  纳米技术与精密工程. 2013(01)
[5]柔性显示衬底的研究及进展[J]. 冯魏良,黄培.  液晶与显示. 2012(05)
[6]OLED封装技术进展[J]. 梁宁,李军建.  激光与光电子学进展. 2011(09)
[7]紫外光固化固结磨料研磨盘研磨铜片的研究[J]. 朱贤辉,姚春燕,彭伟.  轻工机械. 2011(03)
[8]制作奥氏体不锈钢金相试样的高效侵蚀剂配方及使用方法[J]. 董加坤.  金属热处理. 2011(05)
[9]柔性显示实现的关键技术[J]. 李天华.  电视技术. 2009(08)
[10]光学元件亚表面缺陷的全内反射显微检测[J]. 邓燕,许乔,柴立群,徐建程,石琦凯,罗晋.  强激光与粒子束. 2009(06)

博士论文
[1]一种陶瓷材料表面/亚表面损伤表征方法及其在磨削损伤检测中的应用[D]. 鲍雨梅.浙江工业大学 2009
[2]光学材料加工亚表面损伤检测及控制关键技术研究[D]. 王卓.国防科学技术大学 2008
[3]IC制造中硅片化学机械抛光材料去除机理研究[D]. 苏建修.大连理工大学 2006
[4]单晶硅片超精密磨削加工表面层损伤的研究[D]. 张银霞.大连理工大学 2006

硕士论文
[1]超薄304不锈钢片Roll-to-Roll化学机械抛光液研究[D]. 陈佳鹏.河南科技学院 2016
[2]光学玻璃研磨加工后亚表面损伤研究[D]. 高平.南京航空航天大学 2012
[3]光学表面亚表层损伤表征技术研究[D]. 党娟娟.西安工业大学 2011
[4]单晶硅电火花线切割表面损伤层研究[D]. 高连.南京航空航天大学 2011
[5]CZT晶体加工表面/亚表面损伤研究[D]. 郎艳菊.大连理工大学 2008
[6]KDP晶体磨削加工表层损伤的检测与分析[D]. 曹先锁.大连理工大学 2007
[7]超精密磨削硅片表层损伤检测的试验研究[D]. 张胜利.大连理工大学 2006



本文编号：3555601