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133. 可刚性固定MEMS矢量水听器的设计

134. MEMS惯性器件误差分析与补偿方法研究

135. MEMS晶圆级测试系统现状及未来展望

136. MEMS扭转微镜温度效应的仿真分析

137. MEMS温湿度传感器集成系统设计

138. MEMS微驱动器的设计、工艺及应用

139. 高精度石英全息透镜的MEMS工艺制作

140. 三轴数字MEMS加速度计现场标定方法

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