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371. MEMS刻蚀工艺模型研究与仿真

372. 一种MEMS开关驱动电路的设计

373. 基于MEMS的超滑表面研究

374. 高频MEMS振荡器性能研究

375. MEMS微型惯性测量组合的标定

376. RF MEMS开关机电性能研究

377. MEMS加工技术综合性实验

378. 引信用MEMS惯性开关技术研究

379. MEMS可制造性分析与研究

380. 用于MEMS器件的隔振平台研究

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