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371.
MEMS
万向惯性开关制作工艺研究
372. RF
MEMS
开关的性能研究
373.
MEMS
刻蚀工艺模型研究与仿真
374. 一种
MEMS
开关驱动电路的设计
375. 基于
MEMS
的超滑表面研究
376. 高频
MEMS
振荡器性能研究
377.
MEMS
微型惯性测量组合的标定
378. RF
MEMS
开关机电性能研究
379.
MEMS
加工技术综合性实验
380. 引信用
MEMS
惯性开关技术研究
33
34
35
36
37
38
39
40
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42
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