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31. 双层硅基MEMS微带天线阵列研究

32. MEMS压力传感器电容读出电路

33. 杯型MEMS矢量水听器的设计

34. 发展中的RF MEMS开关技术

35. 发展中的RF MEMS开关技术

36. MEMS加速度计的误差补偿方法

37. MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺

38. MEMS扫描镜温度可靠性测试

39. 基于MEMS技术的滤波器设计

40. 自适应MEMS加速度计滤波算法

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