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71. MEMS涂层接触问题的有限元分析

72. 基于自适应滤波的MEMS姿态确定方法

73. MEMS陀螺旋转导航误差的分析与仿真

74. W波段MEMS腔体滤波器

75. MEMS器件分层失效的强化试验技术研究

76. 差分型MEMS矢量水听器的研制

77. MEMS加速度计开环检测电路的设计

78. MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展

79. 基于MEMS惯性器件的个人导航系统研究

80. 差分式MEMS面内加速度计设计