微机电陀螺耦合刚度的辨识

发布时间：2017-09-08 06:22

  本文关键词：微机电陀螺耦合刚度的辨识

  更多相关文章： 微机电陀螺 耦合刚度 辨识方法 模型 频率响应

【摘要】：针对微机电陀螺耦合刚度的辨识,提出了以驱动轴、检测轴、驱动-转动耦合和驱动-检测耦合频率响应特性为基础的耦合刚度辨识方法。设计了一种驱动轴和检测轴双向位移解耦的双质量线振动微机电陀螺,基于经过简化的梁的刚度特性建立了微陀螺平面运动动力学方程,导出了结构在存在耦合刚度情况下驱动轴、检测轴、驱动-转动耦合和驱动-检测耦合的传递函数。根据耦合传递函数把刚度耦合产生的根源定位到特定的几组梁之间的刚度误差。通过驱动-转动耦合与驱动轴幅频特性之比辨识出驱动-转动耦合刚度系数,通过驱动-检测耦合与检测轴幅频特性之比辨识出转动-检测耦合刚度系数。实验测试了设计加工的微陀螺的频率响应特性,利用提出的耦合刚度辨识方法得到陀螺的驱动-转动和转动-检测耦合刚度系数分别为0.14N和0.054 33N。得到的耦合刚度的辨识结果可为微陀螺梁刚度的激光修调提供参数依据。
【作者单位】： 清华大学精密仪器系;
【关键词】： 微机电陀螺 耦合刚度 辨识方法 模型 频率响应
【基金】：武器装备预先研究资金资助项目(No.51309010303)
【分类号】：V241.5
【正文快照】： 1引言微机电振动陀螺敏感结构的力学原理、静电场作用和加工误差等因素,会导致驱动轴的驱动力或运动传递到检测轴,使检测轴发生振动,从而在敏感轴无角速度的情况下输出信号。一般称这种现象为“耦合”,并用“耦合误差”来定量描述耦合的大小。耦合误差会随温度、气压等发生变

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前4条

1 屈波;;快捷准确检测轴用键槽对称度[J];工具技术;2010年05期

2 赵德林;一种检测轴、套外径尺寸的简易量具[J];粉末冶金技术;1990年02期

3 杨桦;;升降支座[J];机械工人冷加工技术资料;1978年10期

4 ;[J];;年期

，

本文编号：812396