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a-sic
1. 基于第一性原理的
a-Si
:H红外特性研究
2. 不同双栅极设计对
a-Si
:H TFT特性影响
3. 基于温和等离子体处理的
a-Si
薄膜的钝化研究
4. 排气方式及工艺参数对等离子体刻蚀
a-Si
均一性的影响
5. 新型等离子束源CVD制备
a-Si
:H薄膜特性的研究
6. 非对称双栅结构
a-Si
:H薄膜晶体管沟道电势统一模型
7.
a-Si
∶H/
a-Si
C∶H多层薄膜的光、电特性研究
8.
a-Si
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9.
a-Si
:H薄膜中Si y H x 结构组态的原子模拟研究
10. 非晶硅平板探测器（
a-Si
EPID）在放射治疗剂量验证中的应用研究
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a-si h a-sic
