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161.
MEMS
振动传感器自检测技术研究
162. 基于FP
G
A的
MEMS
捷联惯性导航系统设计
163. 温度约束的
MEMS
陀螺零漂补偿模型
164. 压电式
MEMS
传感器的稳健设计研究
165. 基于
MEMS
的消防单兵室内定位研究与设计
166. 硅腔体
MEMS
环行器的设计与制作
167.
MEMS
红外光源光谱特性及温度特性测试研究
168. 一种
MEMS
陀螺仪温度漂移误差补偿方法
169. 基于
MEMS
传感器室内导航的系统设计
170. 基于真空电阻焊的
MEMS
器件级封装研究
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