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231. MEMS可调光衰减器的波长相关损耗优化

232. 基于MEMS机构装配的微夹持器研究

233. MEMS数字倾角仪的标定补偿方法研究

234. 多准则MEMS陀螺随机误差在线建模与实时滤波

235. MEMS传感器三维引线键合系统研制

236. MEMS悬浮结构深反应离子刻蚀保护方法对比研究

237. 激光点火系统用MEMS光开关研究与设计

238. MEMS数字麦克风信号处理电路的设计

239. 基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置

240. 基于MEMS传感融合技术的内镜跟踪定位系统研究

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