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33. 微波板式PECVD设备多晶硅片表面镀膜均匀性影响因素的研究
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34. 锆合金包壳管内壁SiC涂层的PECVD制备与性能
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35. 1064nm高反射膜的PECVD法制备及其抗激光损伤性能
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36. PECVD法制备掺硼纳米金刚石薄膜的工艺研究进展
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37. 电极和匀气盘结构对PECVD氮化硅薄膜性能的影响
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38. 蓝宝石衬底上PECVD生长石墨烯及其气敏传感器
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39. PECVD法制备掺磷非晶硅薄膜及其结构和性能的研究
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40. 氢对PECVD法制备硅基薄膜沉积速率、膜结构及性能的影响
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