采用化学腐蚀法制备光纤Fabry-Perot应变传感器
本文选题:化学腐蚀 + 氢氟酸 ; 参考:《激光与红外》2017年11期
【摘要】:提出了一种采用化学腐蚀方法制备光纤Fabry-Perot(F-P)传感器的方法,采用浓度为40%的氢氟酸溶液对单模光纤端面进行腐蚀处理,并通过电弧放电对光纤端面进行熔接,制作光纤F-P传感器。实验中,将单模光纤端面在40%浓度的氢氟酸中腐蚀20 min制作出深度21μm的凹槽,并将该腐蚀过的光纤和端面切平的单模光纤相对熔接,通过电弧放电进行熔接构成F-P腔结构,条纹对比度为8 d B;对制备的光纤F-P传感器的应变特性及温度特性进行了实验和分析,结果表明采用化学腐蚀法制作的光纤F-P传感器对应变具有良好的灵敏度,加载灵敏度可达到3.78 pm/με,线性度为0.999;卸载灵敏度为-4.25 pm/με,线性度为0.985。
[Abstract]:A chemical etching method for fabricating optical fiber Fabry-Peroton F-P sensor is presented in this paper. A 40% hydrofluoric acid solution is used to corrode the end surface of single-mode optical fiber. The optical fiber F-P sensor is fabricated by welding the optical fiber end surface by arc discharge. In the experiment, the grooves with a depth of 21 渭 m were made by etching the end surface of the single-mode fiber in 40% hydrofluoric acid for 20 min. The corroded fiber was fused to the single-mode fiber with flat face, and the F-P cavity was formed by arc discharge. The contrast of fringes is 8 dB. The strain and temperature characteristics of the fiber F-P sensor are tested and analyzed. The results show that the fiber F-P sensor fabricated by chemical etching has good sensitivity to strain. The loading sensitivity is 3.78 pm/ 渭 蔚, the linearity is 0.999 9, the unloading sensitivity is -4.25 pm/ 渭 蔚, and the linearity is 0.985.
【作者单位】: 北京信息科技大学光电信息与仪器北京市工程研究中心;合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;
【基金】:教育部“长江学者和创新团队”发展计划项目(No.IRT1212) 北京市教委2015年度创新能力提升计划项目(No.TJSHG201510772016)资助
【分类号】:TP212
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,本文编号:1866256
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