基于多步光刻工艺的静态退相干薄膜及其散斑抑制应用研究
发布时间：2021-07-06 16:13
激光显示作为继CRT、LCD、LED之后的第四代显示技术,具有亮度高、色域广、寿命长、能耗低等优点。由于激光的高相干性,当激光入射到粗糙物体表面时,激光发生散射和干涉并产生颗粒状明暗斑点,我们称之为散斑。散斑现象严重影响投影图片的质量,必须被抑制。目前激光显示领域主要的散斑抑制方法包括振动散射片、扫描微镜、振动屏幕等方法来实现散斑的抑制。该类方法是在人眼的积分时间内通过叠加多幅彼此独立的散斑图案实现散斑的抑制,具有很好的散斑抑制效果。但是由于系统中引入马达等动态机械元件,增加系统体积同时降低了光学系统的稳定性,并且会产生额外的噪声污染。本论文研究了一种基于破坏激光时间及空间相干性的静态散斑抑制方法,设计并基于多步光刻工艺加工了一种具有3D微光学结构的器件,其可以作为一种静态的退相干薄膜（Decoherence Thin Film,DTF）。DTF可以对激光进行光程调制,降低激光的时间相干性进而破坏了激光的空间相干性,实现了散斑的抑制。将DTF与散射片配合应用于激光显示领域,可以实现无需外部供电、散斑抑制效率高的目的。DTF同样也可以应用于全息成像、激光照明等领域。本文的主要内容包括以下...
【文章来源】：山西大学山西省
【文章页数】：50 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
图１．１?（ａ）三菱公司首款支持３Ｄ立体技术的７５寸激光背投电视；（ｂ）ＮＥＣ公司首款４Ｋ三基??色激光数字电影放映机ＮＣ３５４０ＬＳ－１＋??
?基＾歩光爾工ｇ的静＿相干薄膜及其擊斑抑ｉｌ＿Ｂ趼究?＾??制出了第一合支持３Ｄ立体技术的７５寸激光背投电视机，如图１．１（ａ）所示。２０１６年??日本ＮＥＣ公謂在第二十五届北京国际广播电影电视展览会上推出了首款４Ｋ三色激??光数宇电影放映机ＮＣ３５４０ＬＳ－１＋，该型电影投影机光源的使用寿命长达３万小时，??如图＇１．１（ｂ）所示。??图１．１?（ａ）三菱公司首款支持３Ｄ立体技术的７５寸激光背投电视；（ｂ）ＮＥＣ公司首款４Ｋ三基??色激光数字电影放映机ＮＣ３５４０ＬＳ－１＋??我国激光显示技术的研究始子上世纪８０年代，菌家８６３计划首次将“激光全Ｍ??承”列入研究课题。在《国家十二五发展规划》中提到：要实现低成本、系统可靠性??高、光源寿命长的激光显东技术％?２０１０年中视中科在北京国际广播电视电影设备??展览会上发布了全球首台采用红、绿、蓝三基色激光作为光源的３Ｄ电影放映机。??２０１４年中视迪威公司发布的ＳＬ－２ＫＣ２０Ｃ／ＳＬ－２ＫＣ４０Ｂ两个型号电影放映机通过了??ＤＣＩ检测，这也是我国縛产激光投影放映设备第一次通过ＤＣＩ测试。２０１９年故宫博??物院举办“紫禁城上元之夜”，光峰科技公司采用ＡＬＰＤ激光技术以故宫孙墙为幕亦??进佇了投影显示，如图１．２所示。图１．３为三墓色激光投影结构原理图。??图１．２光峰科技在故宫采用ＡＬＰＤ技术进行激光投影展示??２??
?第一章引言???光源模块?消相干模块?信号调制模块?投影成像模块??ＨＲ?????１?网?Ｗ?？??％）ｔｕｐＬ?＿扩束、句尝－光??影Ｉ??消相干?光?透＊????域?镜??蓝光光域??．ｉ＾＾－ＤＰＬ?扩束、句场?７／／＾??，ｎｌ７ｔＵＪ？?消相干?＾Ｍ２??图１．３三基色激光投影系统结构原理图??我们将从以下三个方面介绍激光显示的技术优越性：??１．应用场景多样化??（１）激光显示技术亮度高？，激光显示技术在实现更小的设备体积的同时还可??以提供数千乃至几万流明的显录亮度，因此激光显示可以应甩于会议室：、电影院、户??外投影等所需叠度不两的场景；??（２）激光显示技术光利用率裔，在头戴显示设备中，设备的光源与显示装置之??间需要光纤等装置进行导光。当头戴Ｍ示设备采用激光作为光源的时，由于激光的发??散角孝方向性好，激光在光纤内传播过程中损耗更低，光的利用率得以提禽《??２．对环境友好??（１）更长的使用寿命，普通投影仪中的汞灯或氙灯光源的寿命都在数千小时，??而汞灯在生产过程中及废弃回收时会对环境造成一定的污染。激光光源的寿命都在??上万小时，而且激光光源的生产不会产生对环境有害的物质。因此，从长远来看，激??光光源对环境更为友好；??（２）更低的能耗，用于激光显示的红色、绿色、蓝色三碁色激光的光谱皆是在??可见光范围内，而氙灯光源的光谱只有３０％＾可见光范画内ｍ。对于人眼而言，用于??激发另外７０％不可见光的能量就浪费了。传统的光源的光电转换效率在３％左右，而??激光的光电转换效率高达１０％。由此可见，激光显示相对于传统显示具有更为优异??的低能耗
【参考文献】：
期刊论文
[1]卡西欧发布激光器&LED混合光源投影仪[J]. 光机电信息. 2011(04)
[2]大屏幕LED显示控制系统的设计[J]. 赵才荣,丁铁夫,郑喜凤,刘高霞. 液晶与显示. 2005(06)
[3]平板显示的最新进展[J]. 杨小慧. 光电子技术. 2004(01)
[4]负性光刻胶刻蚀工艺研究[J]. 董小春,杜春雷. 光子学报. 2003(12)
[5]准LIGA技术的研究与发展[J]. 游余新,王东红,陈伟平. 遥测遥控. 1999(01)
[6]平板显示技术[J]. 张玉钧,刘文清. 光电子技术与信息. 1997(06)
[7]光敏玻璃原理及应用[J]. 周金渭,宋心琦. 大学化学. 1995(02)
博士论文
[1]激光投影系统中典型非成像光路器件对散斑的影响[D]. 赵鹏飞.中北大学 2016
硕士论文
[1]基于紫外光刻方法构建超疏水微纳结构及导电图案[D]. 张放.北京化工大学 2015
本文编号：3268557
【文章来源】：山西大学山西省
【文章页数】：50 页
【学位级别】：硕士
【部分图文】：
图１．１?（ａ）三菱公司首款支持３Ｄ立体技术的７５寸激光背投电视；（ｂ）ＮＥＣ公司首款４Ｋ三基??色激光数字电影放映机ＮＣ３５４０ＬＳ－１＋??
?基＾歩光爾工ｇ的静＿相干薄膜及其擊斑抑ｉｌ＿Ｂ趼究?＾??制出了第一合支持３Ｄ立体技术的７５寸激光背投电视机，如图１．１（ａ）所示。２０１６年??日本ＮＥＣ公謂在第二十五届北京国际广播电影电视展览会上推出了首款４Ｋ三色激??光数宇电影放映机ＮＣ３５４０ＬＳ－１＋，该型电影投影机光源的使用寿命长达３万小时，??如图＇１．１（ｂ）所示。??图１．１?（ａ）三菱公司首款支持３Ｄ立体技术的７５寸激光背投电视；（ｂ）ＮＥＣ公司首款４Ｋ三基??色激光数字电影放映机ＮＣ３５４０ＬＳ－１＋??我国激光显示技术的研究始子上世纪８０年代，菌家８６３计划首次将“激光全Ｍ??承”列入研究课题。在《国家十二五发展规划》中提到：要实现低成本、系统可靠性??高、光源寿命长的激光显东技术％?２０１０年中视中科在北京国际广播电视电影设备??展览会上发布了全球首台采用红、绿、蓝三基色激光作为光源的３Ｄ电影放映机。??２０１４年中视迪威公司发布的ＳＬ－２ＫＣ２０Ｃ／ＳＬ－２ＫＣ４０Ｂ两个型号电影放映机通过了??ＤＣＩ检测，这也是我国縛产激光投影放映设备第一次通过ＤＣＩ测试。２０１９年故宫博??物院举办“紫禁城上元之夜”，光峰科技公司采用ＡＬＰＤ激光技术以故宫孙墙为幕亦??进佇了投影显示，如图１．２所示。图１．３为三墓色激光投影结构原理图。??图１．２光峰科技在故宫采用ＡＬＰＤ技术进行激光投影展示??２??
?第一章引言???光源模块?消相干模块?信号调制模块?投影成像模块??ＨＲ?????１?网?Ｗ?？??％）ｔｕｐＬ?＿扩束、句尝－光??影Ｉ??消相干?光?透＊????域?镜??蓝光光域??．ｉ＾＾－ＤＰＬ?扩束、句场?７／／＾??，ｎｌ７ｔＵＪ？?消相干?＾Ｍ２??图１．３三基色激光投影系统结构原理图??我们将从以下三个方面介绍激光显示的技术优越性：??１．应用场景多样化??（１）激光显示技术亮度高？，激光显示技术在实现更小的设备体积的同时还可??以提供数千乃至几万流明的显录亮度，因此激光显示可以应甩于会议室：、电影院、户??外投影等所需叠度不两的场景；??（２）激光显示技术光利用率裔，在头戴显示设备中，设备的光源与显示装置之??间需要光纤等装置进行导光。当头戴Ｍ示设备采用激光作为光源的时，由于激光的发??散角孝方向性好，激光在光纤内传播过程中损耗更低，光的利用率得以提禽《??２．对环境友好??（１）更长的使用寿命，普通投影仪中的汞灯或氙灯光源的寿命都在数千小时，??而汞灯在生产过程中及废弃回收时会对环境造成一定的污染。激光光源的寿命都在??上万小时，而且激光光源的生产不会产生对环境有害的物质。因此，从长远来看，激??光光源对环境更为友好；??（２）更低的能耗，用于激光显示的红色、绿色、蓝色三碁色激光的光谱皆是在??可见光范围内，而氙灯光源的光谱只有３０％＾可见光范画内ｍ。对于人眼而言，用于??激发另外７０％不可见光的能量就浪费了。传统的光源的光电转换效率在３％左右，而??激光的光电转换效率高达１０％。由此可见，激光显示相对于传统显示具有更为优异??的低能耗
【参考文献】：
期刊论文
[1]卡西欧发布激光器&LED混合光源投影仪[J]. 光机电信息. 2011(04)
[2]大屏幕LED显示控制系统的设计[J]. 赵才荣,丁铁夫,郑喜凤,刘高霞. 液晶与显示. 2005(06)
[3]平板显示的最新进展[J]. 杨小慧. 光电子技术. 2004(01)
[4]负性光刻胶刻蚀工艺研究[J]. 董小春,杜春雷. 光子学报. 2003(12)
[5]准LIGA技术的研究与发展[J]. 游余新,王东红,陈伟平. 遥测遥控. 1999(01)
[6]平板显示技术[J]. 张玉钧,刘文清. 光电子技术与信息. 1997(06)
[7]光敏玻璃原理及应用[J]. 周金渭,宋心琦. 大学化学. 1995(02)
博士论文
[1]激光投影系统中典型非成像光路器件对散斑的影响[D]. 赵鹏飞.中北大学 2016
硕士论文
[1]基于紫外光刻方法构建超疏水微纳结构及导电图案[D]. 张放.北京化工大学 2015
本文编号：3268557
本文链接：https://www.wllwen.com/shoufeilunwen/benkebiyelunwen/3268557.html
