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篇。
1.
a-Si
∶
H
/
a-Si
C∶
H
多层薄膜的光、电特性研究
2. PECVD制备
a-Si
:
H
(nc-Si:
H
)/
a-Si
C:
H
多层薄膜的光电特性研究
3. 基于第一性原理的
a-Si
:
H
红外特性研究
4. 不同双栅极设计对
a-Si
:
H
TFT特性影响
5.
a-Si
:
H
薄膜中Si y
H
x 结构组态的原子模拟研究
6. 新型等离子束源CVD制备
a-Si
:
H
薄膜特性的研究
7. 非对称双栅结构
a-Si
:
H
薄膜晶体管沟道电势统一模型
8. 衬底温度对氢离子束辅助磁控溅射制备
a-Si
∶
H
薄膜结构特性的影响
9.
a-Si
:
H
/c-Si p-i-n结构的侧向光伏效应测试与调控
10. 基于温和等离子体处理的
a-Si
薄膜的钝化研究
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4
5
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7
8
9
10
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a-sic
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