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152. 一种MEMS压电大位移驱动器设计分析

153. 基于MEMS技术的井下工具姿态测量与校正

154. 近红外MEMS闪耀光栅的设计与制作

155. MEMS器件捷联惯导系统旋转调制技术

156. 基于MEMS技术的捷联惯导系统现状

157. C波段双层MEMS滤波器的设计

158. 多MEMS陀螺数据融合系统的设计和实现

159. 基于MEMS的数字地震检波器的研究

160. 基于MEMS技术的宏孔导电网络工艺

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