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161. 温度约束的MEMS陀螺零漂补偿模型

162. 压电式MEMS传感器的稳健设计研究

163. 基于MEMS的消防单兵室内定位研究与设计

164. 硅腔体MEMS环行器的设计与制作

165. MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究

166. 一种MEMS陀螺仪温度漂移误差补偿方法

167. 基于MEMS传感器室内导航的系统设计

168. 基于真空电阻焊的MEMS器件级封装研究

169. 针对工艺偏差的MEMS器件结构参数优化设计

170. 面向MEMS红外光源的辐射增强结构设计

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