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162. 硅腔体MEMS环行器的设计与制作

163. MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究

164. 一种MEMS陀螺仪温度漂移误差补偿方法

165. 基于MEMS传感器室内导航的系统设计

166. 基于真空电阻焊的MEMS器件级封装研究

167. 针对工艺偏差的MEMS器件结构参数优化设计

168. 面向MEMS红外光源的辐射增强结构设计

169. 基于MEMS的电磁激励谐振传感器研究

170. MEMS惯导系统的误差自修正技术研究

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