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71. 基于阴离子表面活性剂的铜
CMP
后清洗新型碱性清洗液
72. 铜
CMP
碱性抛光液中氧化剂的电化学行为研究
73. 缓蚀剂1,2,4-三唑在铜
CMP
过程中的作用机理
74. 超精密加工中铜表面
CMP
后残余金属氧化物的去除
75. 用于最新技术节点Ge和SiGe的
CMP
技术研究进展
76. 基于Spike sorting的NoC-based
CMP
的研究与实现
77. GLSI多层铜布线阻挡层
CMP
及其后清洗表面粗糙度的研究
78. 智能优化技术在
CMP
铜抛光材料与工艺参数优化中的应用研究
79.
CMP
上结合bank一致性技术的NUCA任意步长数据提升技术
80. 在
CMP
过程中新型抑制剂对Cu/Ru电偶腐蚀的影响
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