多弧离子镀法制备TiAlNC涂层的微观结构

发布时间：2018-03-29 21:38

  本文选题：TiAlNC　切入点：涂层　出处：《材料热处理学报》2017年02期

【摘要】：在碳化钨硬质合金WC-6%Co基体上采用多弧离子镀技术制备Ti Al NC涂层,采用扫描电镜和透射电镜观察涂层的微观组织结构,采用X射线衍射仪和X射线能谱分析仪分别确定涂层的物相及其化学成分。实验结果表明:涂层表面粗糙但均匀连续,且表面出现孔隙和少量的微裂纹;涂层与基体结合较好,无分层现象出现,其沉积速率约4.5μm/h。涂层的平均化学组成为Ti(20±9 at%),Al(16±5 at%),N(39±5 at%)和C(25±10 at%),涂层由纳米晶Ti N和非晶(Ti,Al)(N,C)两物相组成。
[Abstract]:Ti-Al NC coating was prepared by multi-arc ion plating on WC-6%Co substrate of tungsten carbide. The microstructure of the coating was observed by scanning electron microscope and transmission electron microscope.The phase and chemical composition of the coating were determined by X-ray diffractometer and X-ray spectrometer respectively.The experimental results show that the surface of the coating is rough, uniform and continuous, and there are pores and a few micro-cracks on the surface, and the coating binds well to the substrate without delamination, and the deposition rate is about 4.5 渭 m / h.The average chemical composition of the coating is Ti(20 卤9 at. the coating is composed of nanocrystalline tin and amorphous TiTiAlN, and the average chemical composition of the coating is as follows: Ti(20 卤9atc, 16 卤5atc and 39 卤5at. the coating is composed of nanocrystalline tin and amorphous TiTiAlC3.
【作者单位】： 常州大学机械工程学院;
【基金】：常州大学科研启动资助项目 江苏省自然科学基金项目(BK20150260)
【分类号】：TG174.4

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