CVD法制备高质量金刚石单晶研究进展

发布时间：2018-06-10 20:54

  本文选题：微波等离子体 + 化学气相沉积(CVD)　； 参考：《人工晶体学报》2017年10期

【摘要】：本文介绍了制备单晶金刚石的主要方法并对其进行了对比,从籽晶选择、预处理和生长工艺几个方面综述了微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石单晶的研究进展,并简单介绍了目前国内外在单晶金刚石制备上的进展,最后对CVD金刚石单晶在电子领域的应用进行了展望。
[Abstract]:In this paper, the main methods of preparing single crystal diamond are introduced and compared. The research progress of preparing diamond single crystal by microwave plasma chemical vapor deposition is reviewed from the aspects of seed selection, pretreatment and growth process. The progress in the preparation of single crystal diamond at home and abroad is briefly introduced. Finally, the application of CVD diamond single crystal in electronic field is prospected.
【作者单位】： 河北省激光研究所;河北普莱斯曼金刚石科技有限公司;
【分类号】：TQ163

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本文编号：2004606