热蒸镀法制备Z箍缩用铝镁合金箔材及其性能

发布时间：2018-08-30 08:24

【摘要】：厚度低于5μm的Al Mg合金箔材可作为带材切割的原材料应用于Z箍缩物理实验。利用热蒸镀方法,通过控制沉积速率在超光滑的Na Cl基片上获得了Al Mg薄膜,最终在脱膜后获得了厚度低于5μm的无支撑Al Mg箔材。实验对该箔材的厚度均匀性、表面粗糙度、衍射峰位、晶粒尺寸及距表面不同距离下的成份进行了分析表征。实验发现,此热蒸镀法制备的Al Mg合金箔材的厚度均匀性优于8%,两面的表面粗糙度均小于180 nm,晶粒尺寸约20 nm;不同厚度样品的衍射峰位未明显偏移,箔材内应力很小;不同深度下Mg含量稳定分布,而在箔材表面杂质含量较高,在距表面6 nm以下合金含量达到预期值并趋于稳定。热蒸镀法制得的无支撑Al Mg合金箔材具有厚度可控且均匀、成分稳定、内应力小的特点,适用于制备Z箍缩带阵负载。
[Abstract]:Al-Mg alloy foil with thickness less than 5 micron can be used as raw material for strip cutting in Z-pinch physical experiments.Al-Mg thin films were obtained on ultra-smooth NaCl substrates by hot-dip plating method,and unsupported Al-Mg foil with thickness less than 5 micron was obtained after stripping. Surface roughness, diffraction peak position, grain size and composition at different distance from the surface were analyzed and characterized. It was found that the thickness uniformity of Al Mg alloy foil prepared by this method was better than 8%, the surface roughness on both sides was less than 180 nm, and the grain size was about 20 nm. The stress is very small; the Mg content is stable at different depths, but the impurity content is high on the surface of the foil. The alloy content below 6 nm from the surface reaches the expected value and tends to be stable.
【作者单位】： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【基金】：国家自然科学基金项目(11135007)
【分类号】：TG146.21

【参考文献】

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【共引文献】

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【二级参考文献】

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本文编号：2212528