前热处理对溶胶-凝胶法制备的ZnO薄膜微结构的影响

发布时间：2018-08-31 10:39

【摘要】：采用溶胶-凝胶旋涂法,以醋酸锌、乙二醇甲醚和乙醇胺为反应前驱物,在不同前热处理温度下制备了ZnO纳米薄膜.采用XRD和SEM研究了前热处理温度对ZnO薄膜微结构的影响,并剖析了溶胶溶液中存在的反应和产物.单采用前热处理得不到结晶性很好的(002)择优取向的ZnO纳米薄膜.当前热处理温度为250℃时,经过400℃后热处理后ZnO薄膜的(002)择优取向性最佳.前热处理时湿膜中未完全分解的有机物在后热处理过程中的分解,以及过高的前热处理温度使得凝胶网络中的有机物剧烈脱附,对凝胶网络结构造成损伤,不利于薄膜(002)择优取向生长,前者是造成薄膜出现微米尺度均匀褶皱的根本原因.
[Abstract]:ZnO nano-films were prepared by sol-gel spin-coating method with zinc acetate, ethylene glycol methyl ether and ethanolamine as reaction precursors at different pre-heat treatment temperatures. The effects of pre-heat treatment temperature on the microstructure of ZnO films were studied by XRD and SEM, and the reaction and products in sol solution were analyzed. ZnO nano-films with good crystallinity (002) preferred orientation. The (002) preferred orientation of ZnO films is best when the current heat treatment temperature is 250, and the (002) preferred orientation of ZnO films after heat treatment at 400. The decomposition of incompletely decomposed organic matter in wet films during post-heat treatment during pre-heat treatment and the excessive pre-heat treatment temperature result in the presence of nano- The drastic desorption of the gel caused damage to the network structure of the gel, which was not conducive to the preferred orientation growth of the film (002).
【作者单位】： 郑州大学物理工程学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(60807001)
【分类号】：O484

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本文编号：2214732