Na/Mg共掺ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及特性研究

发布时间：2022-10-11 17:01

　　利用溶胶-凝胶旋转涂膜法在耐热玻璃衬底上制备了不同膜厚的Na/Mg共掺ZnO薄膜。重点研究了膜厚对Na/Mg共掺ZnO薄膜结构和光学特性的影响。扫描电子显微镜（SEM）图像和X射线衍射（XRD）图谱分析结果表明,膜厚为200~500 nm时,随着膜厚的增加,薄膜的结晶性、致密性及c轴择优取向生长特性都呈现出先增强后降低的趋势。透射光谱分析结果表明,薄膜在可见光范围内的平均透光率随着膜厚的增加而显著下降。实验条件下,膜厚约为300 nm的Na/Mg共掺ZnO薄膜具有优良的结构特性和透光特性。荧光光致发光（PL）谱表明该薄膜中缺陷很少,是优良的紫外发光材料。 

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【文章目录】：
0 引言
1 实验
2 实验结果分析
3 结论


【参考文献】：
期刊论文
[1]溶胶-凝胶法制备Na/Mg共掺ZnO薄膜的特性研究[J]. 张彩珍,陈永刚,刘肃,王永顺.  材料导报. 2013(04)



本文编号：3690950